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半自動分配箱(VMB):通過采用PLC控制,觸控屏為人機界面,通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥等裝置,實現(xiàn)設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導體工藝生產(chǎn)過程中對高純介質的連續(xù)供給和高純度的要求,同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。
VMB閥門箱產(chǎn)品介紹:VMB閥門分配箱,是一種內嵌多支路,實現(xiàn)高純氣體或液體分流的閥門箱。VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點,壓力可被單獨地調控,從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維VMB的每一部份。除此以外,設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。
半自動VMB閥門箱介紹:半自動分配箱(VMB):通過采用PLC控制,通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥等裝置,實現(xiàn)設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導體工藝生產(chǎn)過程中對高純介質的連續(xù)供給和高純度的要求,同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。適用氣體:易燃性,腐蝕性,毒性氣體,諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。適用行業(yè):Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校實驗室等。面板基本配置: 進口手動隔離閥 進口氣動隔膜閥 進口壓力傳感器 吹掃壓力表 單向閥 減壓器 過濾器面板可選配置 真空發(fā)生器 測試端口閥門